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    夾彈簧金屬C型密封圈在半導體特氣儲運中的運用
    發布時間:2023-07-05 11:05:30

    半導體制造設備產業鏈地圖

    半導體制造設備產業鏈地圖.png 半導體特氣儲運環節作為半導體產業鏈的一環,有著至關重要的地位。

    半導體特氣主要包括氮氣、氫氣、氬氣等。這些氣體都具有一定的危險性,需要特殊的儲運方式。

    半導體制作環節流程及半導體材料應用

    半導體制作環境流程及半導體材料應用.png 

    儲運方式:

     

    氫氣:儲運氫氣的時候,需要使用高強度的鋼瓶或者復合材料瓶子。運輸時不可與氧氣或氧化劑混合。避免高熱、高壓或高速沖擊。儲存條件要求-40℃~50℃,保持干燥、通風、防火。

     

    氮氣:氮氣壓力較低,因此可以使用鋁瓶,不過需要防止瓶內保壓過高,導致鋁瓶爆炸。運輸時應避免撞擊和擺放時要保持穩定。儲存溫度要求-196℃以下,保持干燥。

     

    氬氣:氬氣儲運時,需要使用不銹鋼瓶或復合材料瓶子,不可與氧氣或氧化劑混合。運輸時避免高熱、高壓、高速沖擊。儲藏溫度要求-185℃以下,保持干燥。

     

    總的來說,儲存半導體特氣需要的環境條件都比較嚴格,在儲運時需要精細化管理,避免發生安全問題。所以密封件的選用非常關鍵。 

     

    因半導體特氣儲運公司用于輸送氣體的儲罐,需要被加熱到180℃以保持或增加電子特種氣體的流量,需要與密封和罐材料相匹配以實現兼容性。儲罐密封性要求極高:而且是半導體制程中所用的任何液化壓縮氣體如NH3、CO2、SiH2Cl2、WF6、SiCl4、BCl3、HF、C4F6、HBr、CH3F等,這些超純化學罐需要低泄漏率的要求。

    ● 氦氣泄漏率: < 1x10-10 cc/sec

    ● 密封系統: 可以是螺栓連接或者螺絲固定或者快速拆卸系統

     


    所以您可以選用本公司開發的夾彈簧金屬C型密封圈;根據化學物質的不同,選用材料可以是鎳或316不銹鋼的純金屬密封件。經過退火處理軟化的夾彈簧金屬C型圈,有助于防止損壞法蘭凹槽表面。夾彈簧金屬C型圈的底部也有一個特殊的凹槽設計,以防止夾彈簧金屬C型密封圈被壓坍塌。

     

    想了解更多詳情,請聯系本公司。

     夾彈簧鍍金金屬C型圈水印.png


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